日本USHIO牛尾 DEEP UV 灯管特点：
将氙气灯管中封入金属蒸气，高辉度·点光源的DEEP UV灯管是为实现1MBIT、4MBIT的VLSI、提升解像度而开发的，具有远紫外线的强光谱。并且因为这个领域的波长化学性活泼，故也研究其烧结以外的用途。
短波长域高能源
连续氙灯和紫外线光谱,高压紫外线灯管在紫外线灯红外区域的获得更高能量.与超高压水银灯管相比,在未满400MM短波区域能获得更多能源.
集中,均一的光源,适合于光学制造原理.
分光分布图
将氙气灯管中封入金属蒸气，高辉度·点光源的DEEP UV灯管是为实现1MBIT、4MBIT的VLSI、提升解像度而开发的，具有远紫外线的强光谱。并且因为这个领域的波长化学性活泼，故也研究其烧结以外的用途。
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