KAIJO高频超声波清洗机HIMEGASONIC产品简介:
Si圆片、GaAs的清洗,液晶玻璃及其其他玻璃面罩的清洗,硬盘清洗,石英
振荡器清洗,薄膜磁头清洗,脆性材料等的超精密超声波清洗.
Haimega除去小于45纳米时所需的超微粒、如半导体和液晶显示器.
特点■振荡器
●内置
自诊断功能(CPU)可以反馈集中控制(RS485,D-NET),输出的运行状态,
可以与上位机进行通信交流内脏CPU.
●数字显示输出
的3位数字显示,运行状态管理的管理,可以进行高精度始终是可能的.
●较低的判断功能,
可以执行上的上限和下限的报警显示,状态显示振荡也有可能是触点输出.
●自动跟踪方法PLL频率
深种溶液,液体：KAIJO自己PLL的方案,其振荡频率为自动优化
等(高达70度),有可能 发生变化的液体的温度.
● 功率MOS FET的高效率振荡,振荡的高效率是可能的.
●损伤小,
可控制的精细图案的最佳状态,我们应对200/300mm晶圆清洗.
发振器配置
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项目 |
规格 |
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型号名称 |
68101 |
78101 |
78102 |
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输出功率 |
600W |
900W |
900W |
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工作频率 |
950KHZ |
950KHZ |
750KHZ |
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发振方式 |
VCO |
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频率调整 |
自動追尾PLL方式 |
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工作显示 |
3位七段LED显示 |
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远程控制机构 |
有 |
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使用环境温度 |
0～40℃ |
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使用环境湿度 |
0～80% |
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工作电源 |
AC200V 6A |
AC200V 9.5A |
AC200V 9.5A |
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外形尺寸 |
3200×5200×144 |
460×500×143 |
460×500×143 |
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重量 |
約17㎏ |
約25㎏ |
振动板配置
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使用规格 |
6寸晶圆 |
8寸晶圆 |
12寸晶圆 |
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振动板规格 |
7857S |
8857S |
98SL |
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额定输入 |
300Wx4 |
300Wx6 |
300Wx16 |
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频率 |
950kHz |
950kHz |
750kHz |
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振动辐射面(mm) |
136x163 |
165x215 |
275x319 |
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振动板材质 |
SU316L |
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使用最高温度 |
70℃ |
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外形尺寸 |
185x215x55 |
255x305x55 |
410x340x65 |
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固定方式 |
螺丝固定 |
特点■隔膜
●振动元件是大P. Z.由于振动元件T,有没有不均匀清洗.
●非常高的功率密度,清洁能力非常出色.(5.4W /约2厘米)的
厚度,因为它是厚
●具有优良的机械强度,寿命长,省心,还内置了洗涤槽.
●高效率声几乎没有损失.
●少的接缝的装置,最好的清洗效果可以预期.
●SU304,316,316 L为三种类型的材料是准备就绪
特点■洗涤槽
●商品化的超声波浴石英振子直接键合到石英容器.
相比传统的双室超声波照射(1.2倍以上相比,我们的)强.这是的唯一技术Kaijo.
●支持两种类型的室温(50℃最高),高温(80℃最高)是可以使用的液体温度.
●我们还生产不锈钢水槽.