一、KOFLOC 标准质量流量控制器3660系列产品介绍：
MFC/MFM等有精度，重复性，反应速度，甚至价格也有要求。它适合半导体，光缆，分析仪器，燃料电池，液晶屏，有机EL,生物工程，食品，环境测试，燃烧气体控制，工程设备，试验设备等各个环节，各个制造过程。他所用的传感器是热式流量传感器，热式质量流量计（以下简称TME）是利用传热原理，即流动中的流体与热源（流体中加热的物体或测量管外加热体）之间热量交换关系来测量流量的仪表。
型号3660系列质量流量控制器设计精密，成本较低。广泛用于不同的领域，从实验室和研究开发项目到各种分析仪器、真空装置的标准采用机种，发挥了很好的实际效果。各种衍生的型号和附属品可选。
二、KOFLOC 标准质量流量控制器3660系列产品特点：
1、通过采用改良型恒定电流温度差检测方式流量传感器，实现快速回应。
2、通用的常闭型阀门确保了安全
3、使用电磁执行器保证了高效的可靠性
4、低差压类型控制适用于燃烧的气体（LP可选）
三、KOFLOC 标准质量流量控制器3660系列产品参数：
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F.S.量程
(N2换算) |
10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM) |
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阀门种类 |
常闭电磁阀 |
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控制范围
应答性
精度
重复性 |
2%-100%F.S.（5%-100%F.S.） |
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设定±2%F.S.至2秒以内（标准） |
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±1.5%F.S.以内（±2%F.S.以内） |
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±0.5%F.S.以内 |
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压力 |
耐压 |
980kPa |
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操作
差压 |
F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa；
5<F.S.≤20SLM 95kPa-294kPa |
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温度 |
使用温度 |
5°C-45°C |
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连接气体
部分材料 |
SUS316、氟橡胶、
氯丁橡胶（选购件） |
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电力连接 |
Dsub9个引脚公玡 KFC/SEMI
标准 |
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输入流量信号 |
0-5VDC |
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输出流量信号 |
0-5VDC |
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需求电源供给 |
+15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)200mA |
因为汇率经常变动，以上产品价格只做参考！不做下单依据！请见谅！谢谢合作！
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