Formtracer (表面粗糙度/轮廓测量装置) CS-3200
525系列-表面粗糙度/轮廓测量装置
日本三丰品牌 MITUTOYO 525-411 表面粗糙度测量仪
特点：
1、驱动器（X轴）与立柱（Z2轴）均配备有高精度线性标尺（ABS）型，从而可实现竖直方向与水平方向运动中的全自动测量。小孔沿竖直方向的连续自动测量与难于定位部件的重复测量的再现性得以改进。
2、急剧增大的驱动速度（X轴：80mm/s,Z2轴：20mm/s）进而可缩短总的测量时间。利用X轴与Z2轴上的微调给进旋钮可有效测量小孔。
3、为避免驱动器与工件之间的相互干扰，检测器可加以延伸扩展。所有检测器与驱动器的连接线均封装在主机内部，以防磨损并确保无障碍高速运行。
4、当指定轮廓检测器3000*或4000*时，Z1轴（高）方向的测量范围由5mm急剧增加到50mm。
5、驱动器（X轴）倾斜功能强力支持倾斜平面的测量及不易移动的重型工件的测量。
基本技术参数：
基座尺寸（W×D）：600×450mm
基座材料：花岗岩
尺寸（W×D×H）：756×482×966mm（主机）
重量:140 Kg(主机)
电源：100-240VAC±10%,50/60Hz
能耗：400W（主机）
技术参数：
X1轴
测量范围：100mm
分辨率：0.05μm
驱动速度：0-80mm/s外加手动
测量速度：0.02,0.05,0.1,0.2mm/s(在表面粗糙度测量时)
0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1,2mm/s
测量方向：向前/向后
直线度： 0.2μm/100mm *以X轴为水平方向上
指示精度（20℃时）：±（0.8+0.01L）μm L=驱动长度（mm）
倾斜长度： ±45°
Z1轴：
测量范围： 5mm
分辨率：80nm(5mm范围) 8nm(0.5mm范围) 0.8nm(0.05mm范围)
指示精度（20℃时）：±（1.5+I2HI/100）μm H为基于水平位置的测量高度（mm）
测力：30mN
跟踪角度：±65°（使用配置的标准测头，依表面粗糙度而定）
针尖（标准型）：金刚石针尖，针尖角度：60°，尖端半径2μm
针尖（圆锥）：蓝宝石针尖，针尖角度：30°，尖端半径25μm
测针方向：向下
Z2轴（立柱）
立柱移动： 300mm
分辨率：1μm
驱动速度：0-20mm/s外加手动
性能参数：
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型号 |
CS-3200S4 |
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货号（mm） |
525-401* |
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货号（inch） |
525-411* |
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X1轴测量范围 |
100mm |
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Z2轴垂直移动 |
300mm |
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Y轴工作台装置 |
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а轴装置 |
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*为区分交流电源电缆，在货号后加上以下后缀：
“mm”型：A适于UL/CSA,C适于JIS（适于台湾地区），D适于CEE,E适于BS,DC适于中国，K适于EK
“inch”型：A适于UL/CSA,D适于CEE,E适于BS,DC适于中国，无后缀适于JIS/100V(适于台湾地区)
测针：
