FS-70
378系列-半导体检测用显微镜
日本三丰品牌 MITUTOYO 378-187-2 显微镜
特点：
1、此光学系统最初是为了畅销的FS60型（后升级为FS70型）而开发的。它作为测量检测半导体器件的显微镜是很理想的。
2、FS70L支持3种YAG激光波长（1064nm,532nm,355nm），FS70L4支持2种波长（532nm,266nm），可在半导体和液晶基板中使用薄膜激光切割技术。这就扩大了激光的使用范围。然而，使用三丰量具对显微镜的激光系统的性能和安全性，三丰公司不负责任。我们推荐在选购激光发射器时应仔细检查。
3、FS70Z的标准功能有：亮视场，微分干涉对比（DIC）和偏振观测。FS70L和FS70L4不支持DIC。
4、使用内置式转换器使得长工作距离物镜的操作很简单。
5、极易操作的设计：FS70采用正像光学系统（视场中的像与样品方向相同）并用橡胶把手加大微调手轮。
技术参数：
对焦
方法：有同心粗调和微调手轮（左和右）
范围：50mm测量范围，微调0.1mm/rev.同心，粗调3.8mm/rev.
三目镜筒图像：正像
瞳距：Siedentopf型
调节范围：51-76mm
视场数：24
俯角：0°-20°（仅用于-TH，-THS型号）
照明系统：亮视场反射照明（科勒照明、带孔径光阑）
光源：12V100W光纤、无极亮度调节，光导长度1.5m、功耗150W
物镜（选件）：M Plan Apo,M Plan Apo SL,G Plan Apo
性能参数：
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型号 |
FS70 |
FS70-TH |
FS70Z |
FS70Z-TH |
FS70L |
FS70-TH |
FS70L4 |
FS70L4-TH |
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货号 |
378-184-1 |
378-184-3 |
378-185-1 |
378-185-3 |
378-186-1 |
378-186-3 |
378-187-1 |
378-187-3 |
|
短基座型号 |
FS70-S |
FS70-THS |
FS70Z-S |
FS70Z-THS |
FS70L-S |
FS70L-THS |
FS70L4-S |
FS70L4-THS |
|
货号 |
378-184-2 |
378-184-4 |
378-185-2 |
378-185-4 |
378-186-2 |
378-186-4 |
378-187-2 |
378-187-4 |
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对焦 |
50mm行程，同心焦距粗调（3.8mm/rev）和微调（0.1mm/rev）轮（左、右） |
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图像 |
正像 |
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瞳距 |
Siedentopf型，调节范围:51-76mm |
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视场数 |
24 |
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俯角 |
—— |
0°-20° |
—— |
0°-20° |
—— |
0°-20° |
—— |
0°-20° |
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透过率 |
50/50 |
100/0或
0/100 |
50/50 |
100/0或
0/100 |
100/0或0/100 |
100/0或0/100 |
|
保护性滤光片 |
—— |
—— |
内置激光射线滤光片 |
内置激光射线滤光片 |
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光管镜头 |
1X |
1X-2X焦距型 |
1X |
1X |
|
适用激光 |
—— |
—— |
1064/532/355mm |
532/266mm |
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相机端口 |
C-mount （使用适配器B选件） |
使用带有电视端口的激光器 |
C-mount插座（带有绿色滤光片转换开关） |
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照明系统（选件） |
亮视场反身照明（科勒照明、带孔径光阑）
12V 100W光纤、无极亮度调节、光导长度：1.5m,功耗150W |
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物镜选件（用于观察） |
M Plan Apo,M Plan Apo SL,G Plan Apo
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物镜选件（用于激光切割） |
—— |
M/LCD Plan NIR
M/LCD Plan NU |
M Plan UV |
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载重* |
14.5kg |
13.6kg |
14.1kg |
13.2kg |
14.2kg |
13.5kg |
13.9kg |
13.1kg |
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重量（主机） |
6.1kg |
7.1kg |
14.1kg |
7.5kg |
6.4kg |
7.2kg |
6.7kg |
7.5kg |
*光管的载重不包括物镜镜头和目镜的重量
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