日本西格玛光机SIGMA KOKI Z轴TSD不锈钢直动平台(水平台面型)TSDS-253产品描述：
特征：
移动台面为水平的Z轴TSD不锈钢直动平台。
其基本特性，如高刚性，高承载能力，优异的直线性和精密定位性能等，和TSD直动平台一样。
和一般钢质或铝质平台相比，不锈钢平台有很多优点。
它强度非常好，经久耐用，抗冲击，耐磨损，适用于超净工作区和真空环境。
它们没作表面处理，其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于空间窄，密封性高的场合。
规格参数：
|
型号 |
台面尺寸
mm |
行程
mm |
螺距
[m/rotation]] |
移动精度直线度
[mm]] |
平行度
[N] |
移动平行度
[mm] |
最小读数
[mm] |
最小分辨率
[mm |
承载能力Fz'
[N] |
最大承载力矩Fx'
[N?m] |
最大承载力矩Fy'
[N?m] |
刚度Fx"
[arcsec/N?cm] |
刚度Fy"
[arcsec/N?cm] |
自重
[kg] |
|
TSDS-253 |
25 x 25 |
±3 |
0.5 |
0.01 |
0.08 |
0.015 |
0.01 |
0.003 |
29.4 （3.0kgf） |
1 |
1 |
7.14 |
7.14 |
0.1 |
|
TSDS-403 |
40 x 40 |
±3 |
0.5 |
0.005 |
0.08 |
0.02 |
0.01 |
0.003 |
88.3 （9.0kgf） |
3.9 |
3.9 |
1.84 |
1.84 |
0.25 |
|
TSDS-603 |
60 x 60 |
±5 |
0.5 |
0.005 |
0.08 |
0.025 |
0.01 |
0.003 |
147.0 （15.0kgf） |
6.9 |
6.9 |
0.51 |
0.51 |
1 |
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