日本西格玛光机XZ轴TSD不锈钢直动平台TSDS-254C
特征:
- 移动台面为水平的XZ轴TSD不锈钢平台。
- 其基本特性,如高刚性,高承载能力,优异的直线性和精密定位性能等,和TSD直动平台一样。
- 和一般钢质或铝质平台相比,不锈钢平台有很多优点。它强度非常好,经久耐用,抗冲击,耐磨损,适用于超净工作区和真空环境。它们没作表面处理,其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于空间窄,密封性高的场合。
- L型的Z轴的操作部位于上方,因此不受安装方向的限制,具有很好的操作性能。
规格:
型号 |
台面尺寸
[mm] |
行程 [mm] |
螺距 [mm/rotation] |
度;直线度 [mm] |
平行度 [mm] |
最小读数 [mm |
最小分辨率 [mm] |
承载能力Fz' [N] |
最大承载力矩Fx' [N?m] |
最大承载力矩Fy' [N?m] |
刚性
Fx'
[秒/N?m] |
刚性
Fy' [秒/N?m] |
自重 [Kg] |
TSDS-254C |
25x25 |
X轴:±
3
Z轴:±
3 |
0.5 |
0.01 |
0.11 |
0.01 |
0.003 |
29.4(3.0gf) |
1 |
0.7 |
8.95 |
8.75 |
0.17 |
TSDS-254S |
X轴:±
3
Z轴:±
3 |
0.5 |
0.01 |
0.11 |
0.01 |
0.003 |
29.4(3.0gf) |
1 |
0.7 |
8.95 |
8.75 |
0.17 |
TSDS-404C |
40x40 |
X轴:±
6.5
Z轴:±
3 |
0.5 |
0.005 |
0.11 |
0.01 |
0.003 |
88.3(9.0gf) |
3.9 |
3.9 |
2.2 |
2.15 |
0.45 |
TSDS-404S |
X轴:±
6.5
Z轴:±
3 |
0.5 |
0.005 |
0.11 |
- |
0.003 |
88.3(9.0gf) |
3.9 |
3.9 |
2.2 |
2.15 |
0.45 |
TSDS-604C |
60x60 |
X轴:±
6.5
Z轴:±
5 |
0.5 |
0.005 |
0.11 |
- |
0.003 |
147(15.0gf) |
6.9 |
6.9 |
0.75 |
0.75 |
1.5 |
TSDS-604S |
X轴:±
6.5
Z轴:±
5 |
0.5 |
0.005 |
0.11 |
- |
0.003 |
147(15.0gf) |
6.9 |
6.9 |
0.75 |
0.75 |
1.5 |
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