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日本西格玛(SIGMA KOKI)_XY轴TSD不锈钢直动平台_TSDS-252S

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日本SIGMA KOKI西格玛光机XY轴不锈钢直动平台TSDS-252S

 

特征: 

其基本特性,如高刚性,高承载能力,优异的直线性和精密定位性能等,和TSD直动平台一样。

和一般钢质或铝质平台相比,不锈钢平台有很多优点。它强度非常好,经久耐用,抗冲击,耐磨损,适用于超净工作区和真空环境。它们没作表面处理,其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于空间窄,密封性高的场合。

 

规格:

      

型号     

台面尺寸(mm)

行程
[mm]

螺距
[mm/rotation]

移动

度;直线度
[mm]

移动精度;俯仰
[arcsec]

移动精度;左右摆动
[arcsec]

平行度
[mm]

移动平行度
[mm]

最小读数
[mm

最小分辨率
[mm]

承载能力Fz'
[N]

最大承载力矩Fx'
[N?m]

最大承载力矩Fy'
[N?m]

最大承载力矩Fθ'
[N?m]

刚性

Fx'

[秒/N?m]

刚性

Fy'
[秒/N?m]

自重
[Kg]

TSDS-252C

25x25

±

3

0.5

0.002

30

25

0.05

0.02

0.01

0.003

39.2(4.0gf)

2

2

1

3.4

3.4

0.1

TSDS-252S

±

3

0.5

0.002

35

35

0.05

0.02

0.01

0.003

39.2(4.0kgf)

2

2

1

3.4

3.4

0.1

TSDS-402C

40x40

±

6.5

0.5

0.002

30

25

0.05

0.02

0.01

0.003

147(15.0kgf)

3.9

3.9

2.5

0.66

0.66

0.3

TSDS-402S

±

6.5

0.5

0.002

30

25

0.05

0.02

0.01

0.003

147(15.0kgf)

3.9

3.9

2.5

0.66

0.66

0.3

TSDS-602C

60x60

±

6.5

0.5

0.002

25

15

0.05

0.02

0.01

0.003

294(30.0kgf)

8.8

8.8

4.9

0.41

0.41

0.9

TSDS-602S

±

6.5

0.5

0.002

25

15

0.05

0.02

0.01

0.003

294(30.0kgf)

8.8

8.8

4.9

0.41

0.41

0.9

 

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