日本西格玛中空型XY压电陶瓷平台SFS-120XY(WA)
特征：
- 它是一种具有50 x 50mm 通孔的高精度定位平台。
- 它采用压电陶瓷作为驱动器，并内置小位移传感器。
- 适用控制器为FINE-503。该控制器具有RS232C，GP-IB 和USB 接口。
- 可以很容易地通过计算机，利用我们独自开发的应用软件SGEMCS，SGTERMS，SGSFSX 进行控制。
- 此平台是显微镜用移动台，精密测量，表面结构分析，半导体测试装置，精密掩模及半导体晶圆的调整；扫描型干涉仪，高分辨率图像处理及生物系统等的理想选择。
- 不同类型的显微镜，有时其安装方法也有所不同。
- 在您垂询时，请一定告知我们您所用显微镜的制造厂商名称，型号以及物镜型号。
- 我们可以为您定做其它各种显微镜的连接用适配器。
规格：
|
开口部（mm） |
重量【kg】 |
理论分辨率（开环时）【nm】 |
分辩率（闭环时）【nm】 |
直线性误差（%） |
直线度水平方向Xy,Xz,Yx,Yz【um】 |
重复定位精度【um】 |
承载能力【kg】 |
微小变换检测 |
调节器 |
型号 |
台面尺寸(mm) |
|
50x50 |
1.2 |
1 |
10 |
0.3以下 |
1以下 |
0.1以下 |
2 |
数显检测 |
压电石英晶体 |
SFS-120XY |
120x120 |
因为汇率经常变动，以上产品价格只做参考！不做下单依据！请见谅！谢谢合作！
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