7000系列,是能够完成从搬运工件、位置校准、激光切割(全切割、开槽加工、内部改质加工)到清洗、干燥为止等一系列作业的全自动激光切割机。因为配置了LCD触摸式液晶显示屏和GUI(图形化用户界面),使操作变得更为便利。另外,还采用几乎不发生热变形的短脉冲激光技术,从而能够避免因过热而对电路面产生的不良影响。
烧蚀加工 : 将激光能量于极短的时间内集中在微小区域,使固体升华、蒸发的加工方法
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DFL7160
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DFL7260
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设备概要 |
适用于φ300mm晶片、烧蚀加工的激光切割机 |
适用于φ300mm晶片、烧蚀加工的双头激光切割机 |
最大适用晶片直径 |
φ300 mm |
最大适用框架 |
2-12 |
X轴 (工作盘) |
可切割范围(mm) |
310 |
最大进给速度(mm/s) |
600 |
1000 |
Y轴 (工作盘) |
可切割范围(mm) |
310 |
最小步进量(mm) |
0.0001 |
Y轴定位精度 |
0.003以内/310 (单步误差)0.002以内/5 |
光尺分辨率(mm) |
0.0001 |
0.00005 |
Z轴 |
激光聚焦输入范围(mm) |
-2.000 - 5.000 |
最小移动量(mm) |
0.00005 |
重复定位精度(mm) |
0.002 |
θ轴 (工作盘) |
最大旋转角度(deg) |
380 (初始位置开始正方向320、负方向60) |
380 (初始位置开始正方向245、负方向135) |
激光发生器 |
发生器模式 |
通过半导体激光激发的Q开关单体激光 |
通过半导体激光激发的Q开关单体激光 x 2台 |
设备尺寸(WxDxH) (mm) |
1,200 x 1,550 x 1,800 |
2,800 x 1,220 x 1,800 |
设备重量 (kg) |
約1,750 (无变压器) 約1,870 (有变压器) |
2,900 (包括UPS) | |
7000系列,是能够完成从搬运工件、位置校准、激光切割(全切割、开槽加工、内部改质加工)到清洗、干燥为止等一系列作业的全自动激光切割机。因为配置了LCD触摸式液晶显示屏和GUI(图形化用户界面),使操作变得更为便利。另外,还采用几乎不发生热变形的短脉冲激光技术,从而能够避免因过热而对电路面产生的不良影响。
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