日本崛场(HORIBA)_X射线分析显微镜_XGT-5000

XGT-5000系列

10μm的革命　Innovation of 10μm
你能发挥该装置的真正实力。

概要

10μm的X射线。开发了独有的X射线导管(X-ray Guide Tube)，最终得以实现超?微细X射束。可一边扫描试样，一边照射X射线，与CCD照相机和X射线检测器连动，通过光学显微镜进行观察，成功实现了使用X射线分析装置完美地完全融合元素分析的功能。它进入了与现在不同的新一代显微镜世界。＜XGT＞推动科学进入新时代。

特点

• 用一台装置进行各种可能性的分析。
• 观察后立即分析。观察到的“简单定位”。
• 对应从微观到宏观的多种试样。
• XGT解决的、分析的各种“困难”。

X射线分析显微镜

XGT-5000系列

10μm的革命　Innovation of 10μm
你能发挥该装置的真正实力。

规格

周边机器
●真空泵●彩色打印机

●MO驱动(可选项)●CD-RW驱动(可选项)

●15英寸液晶监视器(可选项)●透射光照明系统(可选项)

※1 未带透射X射线检测器时，映像时也能显示透射X射线的窗口。
※2 将全体光学像观察系统添加到可选项中(×100)。

外形尺寸图 (单位：㎜)

X線分析顕微鏡

XGT-5000系列

10μm的革命　Innovation of 10μm
你能发挥该装置的真正实力。

通过一台进行各种分析的可能性。

10μm的X射束???对好新分析的焦距。

• 微细10μm
  通过新开发比以往的X射线集光效率高的10μmX射线导管，实现了10μmX射束强度的提高。得到比以往最多大50倍的高速测定，使其实用性得到飞跃性的提高。
  
  

• 简单正确定位
  CCD上的观察像采用与X射束同轴的机构。这样即使是对凹凸不平的试样，其分析位置也不偏移，使观察作业和分析结果完全融合。具有良好操作性，从而综合了正确的数据。
  
  
  
  
• 从微观到宏观
  可以测定的试样部位最小为φ10μm，最大为□10㎝，对应大范围的尺寸。可灵活对应从概览大范围的宏观分析到微观的特定部检查。
  
  
  
  
• 大气中的即时分析
  采用将分析探针内部做成真空的构造，提高轻元素的灵敏度。结果，可以在大气中测定试样，不需要等待将试样室抽成真空，也不需要进行试样干燥处理等预处理。
  
  
  
  
• 荧光X射线元素分析
  使用荧光X射线进行高速的元素分析。除了试样的定性?定量分析，还能简单地进行多点分析、线分析和面分析，也可以通过相分析进行材质解析。
  
  
  
  
• 垂直透射分析
  可获得透射X射线像，可简单地进行电子部件等的内部观察和构造解析。使用无扩散的、微细的垂直束进行扫描，例如对于圆筒形状的部件，可获得它鲜明的透射像。
  
  
  
  
• 内部/夹杂物分析
  X射线照射可以进入试样内部，此外还有透射像，则可以获得内部的元素信息。
  
  
  
  
• 含水试样分析
  通过使用独有的真空探针，不需要预处理就可以进行大气分析，也能够测定含有水分的植物和动物等生命体。试样无损伤，也可以用于医学、生物等领域。
  
  

X射线分析显微镜

XGT-5000系列

观察后立即分析。观察到的“简单定位”。

XGT的巨大魅力在于从光学图像得到元素分析完美的高度操作性。简单地点击三下就可以完成从试样整体像到指定要测定的10μm的点操作。从试样的设置到报告书的制作，均可以进行自然操作。

 STEP1　 简单样品设置
●在大气中设置。不需要预处理，可以立即进行分析。
●不需要等待抽成真空。
●便于对多个试样进行连续分析。

• 设置到试样台上。
  将试样设置到试样台上。在这种情况下，不需要对试样进行导电处理和干燥处理等。测定位置的指定也在设置到装置上后在显示器上进行，所以不需要特地对这个时点进行定位。
  
  
  
  

• 设置到装置上。不需要抽成真空。
  设置到装置上。这时，由于不需要抽成真空装置等预处理作业，所以在设置后可以立即进入指定测定位置作业。
  
  
  
  
• 在大气中分析试样。
  由于试样室是大气，所以可以对不必抽成真空的试样(含水试样和生命体试样)不进行预处理就可进行分析。

STEP2　 快速的扩大定位
●从全体观察到10μm分析，只需要点击三下。
●由于CCD和X射线处于同轴，所以对准位置简单精确。
●由于观察像和分析点一致，所以效率得到飞跃性提高。

• 全体图像中一下子就能指定目的点。 只需要点击三下就可从全体图像中指定位置。 从显示器上显示试样的全体图像到指定进行10μm高精度分析的位置只需要点击三下。
  
  
  
  

• 点击光学像移动试样台。 当要修正测定位置的微妙偏差时，只需要用鼠标点击光学图像，则试样台连动一起移动。不需要对其进行任何复杂操作。
  
  　　
  　　　　　　 移动前 　　　　　　　　　　　　 移动后

STEP3　多种多样的分析方法

• 多点分析和线分析等，分析位置指定多种多样。
• 通过相分析可进行材质解析。
• 还具备特定试样材质的匹配功能。
• 映像开始画面 　映像时可以一边观察显示器，一边指定区域。
  
  
  

• 多点分析
  如果用点指定多个位置，则能自动收集这些位置的光谱。
  
  　　
  
  
• 线分析 　可对断面分析等进行有效的线分析。
  
  
  
  
• 相分析(可选项)
  可选项中备有“相分析”功能，可从多个元素映象中分析出“相”并加以显示。我们建议需要材质解析的用户采用此类分析。
  
  　　
  
  
• 匹配功能
  从过去的数据中检索类似分析结果的光谱，根据类似程度排列显示。如果事先保存了夹杂物的数据，就能迅速判明种类。
  
  

  
  

STEP4　易懂的输出结果

• 输出多种多样，有光学像、映像、光谱像等。
• 得到的数据可自由布局并加以输出。
• 对布局格式进行保存管理。
• 数据可自由布局。 分析结果是光学图像?光谱?映像等均可进行自由布局，还能够与文本文档一起打印输出。
  
  
  
  
• 能够保存布局的格式。
  设定的布局可以保存成格式。制作同种报告书时，可以不用调出格式进行布局作业而直接输出。
  
  
  
  
• 测定结果报告例
  由于可以将光学像和荧光X射线像、透射X射线像归纳成一个文件加以保存，所以便于迅速制作报告书。