日本崛场(HORIBA)_液晶用分光式椭圆偏光仪_FF-1000

FF-1000

可以满足FPD制造工艺中最先进的检测需求(TFT中的低温多晶硅/非晶硅/有机EL) 可以对各种薄膜?多层膜进行评估?分析

概要

全自动薄膜检测系统 FF-1000 不仅可以应对长宽 1m 以上的第五代大型玻璃基板，而且还可以应对 TFT (Thin Film Transistor) 中的低温多晶硅以及非晶硅、有机 EL(Organic Electro Luminescence) 等下一代FPD的制造工艺，非常有利于FPD的进一步普及和技术革新。
它可以高速且高精度地检测各种玻璃基板上的各种薄膜以及多层膜的膜厚和光学常数。

特点

●也可以应对TFT中的低温多晶硅以及非晶硅、有机EL等下一代FPD
也可以适用于TFT中的低温多晶硅以及技术性飞跃最为受到关注的有机EL等下一代FPD的制造工艺。

●也可以检测第五代大型玻璃基板
可以适用于1110×1250mm的第五代大型玻璃基板等各种基板尺寸。
※有关更大的尺寸大小请另行咨询协商。

●采用了没有机械性振动的PEM元件，实现了高速?高精度的检测
HORIBA JOBIN YVON的分光式椭圆偏光仪和其他公司不同，采用使用了PEM元件的相位调制方式。不仅几乎不会受到外光的影响，而且还没有机械性振动，可实现高速?高精度的检测。
※光弹性?调制器：光弹性调制元件

●可以检测1nm的超薄膜以及TFT用的多层膜
可以对从190nm到830nm(标准：240?830nm)的短波长到长波长之间广泛范围波长领域的膜厚进行检测?数据解析。

●包括100ms的高速?高灵敏度检测在内，检测可以从2种模式中进行选择
单色模式：可以进行高精度评估
高速检测模式：通过多波长同时检测装置，实现了高灵敏度、最小检测时间100ms的高速检测

多波长同时检测装置

●备有工程师模式和操作员模式这2种模式
工程师模式：可以进行细微的设定，以实现高度的解析
操作员模式：几乎不会受到个人技术?经验所左右的简易操作模式

●搭载有可以对复杂的复合多层膜进行全自动解析的软件
可以对光学常数以及组成?均一性进行检测?解析
折射率、消衰系数的运算

●高精度的图案识别功能※、可以连续检测
搭载有高精度的图案识别功能。可以通过全自动检测点的判定，实现连续检测。
※可选件

●也可以适用于最新的自动化生产线
不仅适用于工厂内的LAN，而且还适用于AGV以及CIM等自动化生产线

FF-1000

规格

全自动薄膜检测系统(光电调制型椭圆偏振光谱仪)

FF-1000

使用了PEM元件的相位调制方式

所谓椭偏光谱法是指观测光在在物质的表面反射时的偏振状态变化(入射和反射)，由此测量膜厚以及材质等与物质相关的信息的方法。

FF-1000在相位调制方式的测量原理中采用了使用PEM元件的椭圆偏振光谱仪。如图所示，线偏振光通过PEM晶体后，将会形成被相位调制成50KHz频率的椭圆偏光。因此，通过仅仅数毫秒的分析就可以决定Ψ、Δ。由于PEM的特性及其高的频率检测时间可以短到1ms。并且，由于cosΔ、sinΔ均可以检测，所以Δ的精度很高。而且测量没有机械性振动，实现了高速?高精度的检测。

■PEM原理图

■ 检测部构成图

全自动薄膜检测系统(光电调制型椭圆偏振光谱仪)

FF-1000

操作画面/检测结果

●CIM Manager(通信控制模块管理画面)
在CIM Manager画面中可显示盒的lot ID一览。希望检测的lot设定也很简单。

●Sensor Manager(传感器管理画面)
通过传感器管理画面可以一目了然地对检测条件、检测位置以及检测结果等进行确认。

●DATA point (数据点画面)
如果点击各检测点，就可以确认各检测点的详细信息。

●POINT view(点显示画面)
通过点击被显示在检测面板画面中的检测点，可以确认检测结果。

●Measurement Data Trend(检测结果趋势画面)
可以把检测结果显示在趋势图表中。也可以对平均值、最大值、最小值、以及标准偏差自动进行计算。

●低温多晶硅的检测结果(Low Temperature p-Si)