直接注入
VC 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)
由于是无载体类型，所以可以构筑小型气化系统
概要
由于通过质量流量来测定发生量，所以可以不必受到温度?压力的影响进行液体材料的气化供给。
超小型 ： 只有原来的1/5
高速完全气化 ： 可以瞬间完全气化被供应的液体。
安装固定方向自由 ：无论在哪一个安装固定方向，都可以保持相应功能。
不需要气泡式容器、气化容器
技术规格
| VC-1310 |
| |
| 产生流量 (TEOS发生时) |
不满1.0 CCM (液相的换算) ※1 |
| 对象液体种类 |
会腐蚀不锈钢的HCl、HF等液体除外 |
| 可升温温度 |
最大值.150℃ |
| 接气部材质 |
SUS-316L (PTFE) |
| 耐压 |
1.0MPa(G) |
| VC-1310 |
| |
| 产生流量 (TEOS发生时) |
最大值.5.0 CCM不到 (液相的换算) ※1 |
| 对象液体种类 |
会腐蚀不锈钢的HCl、HF等液体除外 |
| 或升温温度 |
最大值.150℃ |
| 接气部材质 |
SUS-316L (PTFE) |
| 耐压 |
1.0MPa(G) |
※1 不同的液体种类将会有所差异。请进行咨询协商。
外形尺寸（单位：mm）
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