液体微小质量流量计/控制器
LF-F/LV-F 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)
搭载有世界上首次采用了冷却检测方式的流量传感器
概要
通过采用数字回路，实现了高精度?高速响应。
可以进行微升以上的微小流量控制。
可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。
超洁净类型
液体微小质量流量计/控制器
LF-F/LV-F 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司.)
技术规格
| 名称 |
质量流量计 |
| 型号 |
LF-F20M-A |
LF-F30M-A |
LF-F40M-A |
LF-F50M-A |
LF-F60M-A |
| 全标度流量(g/min) |
0.02/0.05/0.1 |
0.2/0.5 |
1/2/5 |
10/20 |
50/100 |
| 检测控制范围 |
5?100% F.S. |
| 对象液体种类 *1 |
可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 |
| 液体粘度 *2 |
最大值. 0.1 Pa·s (100cp) |
| 精度 *3 |
±1% F.S. |
| 直线性 *3 |
±0.5% F.S. |
| 重复性 *3 |
±0.5% F.S. |
| 响应精度 |
3秒以内 (T98) |
2秒以内 (T98) |
| 使用环境温度 *4 |
5?50℃ (15 ? 45℃精度的确保) |
| 温度影響 Span |
±0.1%F.S./℃ 最大值±1% |
| 工作差压值值 *5 |
最大值. 5MPa (视为流量计) / 50?300kPa (with piezo 控制阀) |
| 耐压 |
10MPa (视为流量计) |
| 压力損失 |
最大值. 500Pa |
| 流量设定信号 |
模拟：0.25?5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议) |
| 流量输出信号 |
模拟：0?5 VDC(最小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议) |
| 驱动电源 |
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA |
| 外部泄漏规格 |
5×10-12Pa·m3/s (He) |
| 接液部材质 |
SUS316L, Ni |
| 标准接头 |
1/16” ， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 |
1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 |
1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型 |
| 名称 |
质量流量控制器 |
| 型号 |
LV-F20 (PO/MO) |
LV-F30 (PO/MO) |
LV-F40 (PO/MO) |
LV-F50 (PO/MO) |
LV-F60 (PO/MO) |
| 全标度流量(g/min) |
0.02/0.05/0.1 |
0.2/0.5 |
1/2/5 |
10/20 |
50/100 |
| 检测控制范围 |
5?100% F.S. |
| 对象液体种类 *1 |
可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 |
| 液体粘度 *2 |
最大值. 0.01 Pa·s (10cp) |
| 精度 *3 |
±1% F.S. |
| 直线性 *3 |
±0.5% F.S. |
| 重复性 *3 |
±0.5% F.S. |
| 响应精度 |
3秒以内 (T98) |
2秒以内 (T98) |
| 使用环境温度 *4 |
5?50℃ (15 ? 45℃精度的确保) |
| 温度影响Span |
±0.1%F.S./℃ 最大值±1% |
| 工作差压值 *5 |
0.05?0.3MPa |
| 耐压 |
1MPa |
| 压力损失 |
ー |
| 流量设定信号 |
模拟：0.25?5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) 数字式：RS485(F-Net通信协议) |
| 流量输出信号 |
模拟：0?5 VDC(最小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议) |
| 驱动电源 |
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA |
| 外部泄漏规格 |
PO 类型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO 类型： 5×10-12Pa?m3/s (He) |
| 接液部材质 |
PO 类型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA MO 类型： SUS316L，Ni |
| 标准接头 |
1/16” 液体微小质量流量计/控制器
LF-F/LV-F 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)
外形尺寸（单位：mm）
LF-F series
| 模式 |
H |
T |
W |
I (1/4 VCR) |
I
(1/4 SWL) |
I
(1/8 VCR) |
I
(1/8SWL) |
I
(1/16SWL) |
I
(1/16 Special) |
A |
B |
C |
D |
E |
| LF-F20M-A |
112 |
30 |
55 |
106 |
105 |
94 |
99 |
87 |
89 |
5 |
65 |
5 |
20 |
17 |
| LF-F30M-A |
112 |
30 |
55 |
106 |
105 |
94 |
99 |
87 |
89 |
5 |
65 |
5 |
20 |
17 |
| LF-F40M-A |
112 |
30 |
55 |
106 |
105 |
94 |
99 |
87 |
89 |
5 |
65 |
5 |
20 |
17 |
| LF-F50M-A |
112 |
30 |
55 |
106 |
105 |
94 |
99 |
87 |
89 |
5 |
65 |
5 |
20 |
17 |
| LF-F60M-A |
112 |
30 |
55 |
106 |
105 |
94 |
99 |
87 |
89 |
5 |
65 |
5 |
20 |
17 |
LV-F series
| 模式 |
H |
T |
W |
I
(1/4 VCR) |
I
(1/4 SWL) |
I
(1/8 VCR) |
I
(1/8 SWL) |
I
(1/16 SWL) |
I
(1/16 Special) |
A |
B |
C |
D |
E |
| LV-F20 (PO/MO) |
112 |
30 |
86 |
137 |
136 |
125 |
130 |
118 |
120 |
5 |
96 |
5 |
20 |
17 |
| LV-F30 (PO/MO) |
112 |
30 |
86 |
137 |
136 |
125 |
130 |
118 |
120 |
5 |
96 |
5 |
20 |
17 |
| LV-F40 (PO/MO) |
112 |
30 |
86 |
137 |
136 |
125 |
130 |
118 |
120 |
5 |
96 |
5 |
20 |
17 |
| LV-F50 (PO/MO) |
112 |
30 |
86 |
137 |
136 |
125 |
130 |
118 |
120 |
5 |
96 |
5 |
20 |
17 |
| LV-F60 (PO/MO) |
112 |
30 |
86 |
137 |
136 |
125 |
130 |
118 |
120 |
5 |
96 |
5 |
20 |
17 |
， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型
|
1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 |
1/4” SWL类型 1/4” VCR 类 |
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