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质量流量控制器

SEC-E40 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)

适用于从微小流量到大流量控制的低成本型号

概要

适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制

适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。

低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号： SEC-E40MK3/E50MK3

技术规格

型号	SEC- (质量流量控制器)	E40/E40MK3	E50/E50MK3
型号	SEF- (质量流量计)	E40	E50
适用气体种类*1		非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质		SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号		非通电时　关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)		10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范围 (适于SEC系列)		2?100% F.S.
流量测量范围 (适于SEF系列)		0?100% F.S.
响应速度		1秒以内(T98)
流量精度		±1% F.S.
直线性		±0.5% F.S.
反复性		±0.2% F.S.
工作差压值值 (适于SEC系列)		10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用压力 (适于SEF系列)		300kPa(G)以下
耐　压		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用环境温度		5?50℃(精度的确保：15?35℃)
流量设定信号		0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
流量输出信号		0?5VDC(最小负荷电阻2kΩ)
驱动电源		+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2		1/4SWL 类型

型号	SEC- (质量流量控制器)	E60	E70	E80
型号	SEF- (质量流量计)	E60	E70	E80
适用气体种类*1		N₂、O₂、Air、H₂、Ar、C₃H₈、CH₄、C₄H₁₀		N₂、O₂、Air、H₂
气体接触部材质		SUS316.氟化橡胶、磁性不锈钢
阀门型号		非通电时　关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)		50/100 SLM	200 SLM	300/500 SLM
流量控制范围 (适于SEC系列)		5?100% F.S.
流量测量范围 (适于SEF系列)		0?100% F.S.
响应速度		1秒以内(T98)		2秒以内(T98)
流量精度		±1% F.S.		±2% F.S.
直线性		±0.5% F.S.		±1% F.S.
反复性		±0.5% F.S.		±1% F.S.
工作差压值值(适于SEC系列)		100?300kPa(d)	200?350kPa(d)
使用压力 (适于SEF系列)		350kPa(G)以下
耐　压		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10^-7Pa?m³/s(He)以下		450kPa(G)加压10分钟减压1%以内
使用环境温度		5?45℃(精度的确保：15?35℃)
流量设定信号		0.25?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S.
流量输出信号		0?5VDC(最小负荷电阻2kΩ)
驱动电源		＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2		3/8SWL 类型		1/2SWL 类型

载以外的内容，请另行咨询协商。（单位：mm）

型式	H	T	W	I (1/4 VCR)	I (1/4 SWL)	I (3/8 VCR)	I (3/8 SWL)	A	B	C	D	E
SEC-Z512MG	126	28	63.8	106				21.9	20	6.5	15	12.7
SEC-Z514MG	126	28	63.8	106				21.9	20	6.5	15	12.7
SEC-Z522MG	143	38.5	63.8	106				※1 参照	※1 参照	※1 参照	※1 参照	12.7
SEC-Z524MG	143	38.5	63.8	106				※1 参照	※1 参照	※1 参照	※1 参照	12.7
SEC-Z11D	127	28.5	81.8	-				※1 参照	※1 参照	※1 参照	※1 参照	-
SEC-Z12D	127	28.5	81.8	-				※1 参照	※1 参照	※1 参照	※1 参照	-
SEC-Z11DW	140	38.6	63.8	106				※1 参照	※1 参照	※1 参照	※1 参照	12.7
SEC-Z12DW	140	38.6	63.8	106				※1 参照	※1 参照	※1 参照	※1 参照	12.7
SEC-Z13DW	172	80	125			177		※1 参照	※1 参照	※1 参照	※1 参照	20
SEC-F730	106	35	64.2	106 *2				22.1	20	10	15	12.7
SEC-F740	126	35	64.2	106 *2				22.1	20	10	15	12.7
SEC-F750	140	40	64.2	106 *2		118		19.4	25	7.5	25	12.7
SEC/SEF-V110DM	116.5	37.6	63.8	106 *2				※1 参照	※1 参照	※1 参照	※1 参照	12.7
SEC/SEF-V120DM	116.5	37.6	63.8	106 *2				※1 参照	※1 参照	※1 参照	※1 参照	12.7
SEC-7320	106	28	63.8	106 *2	110			21.9	20	6.5	15	12.7
SEC/SEF-7330	106	28	63.8	106 *2	127			21.9	20	6.5	15	12.7
SEC-7340(LD)	126	28	63.8	106 *2	127			21.9	20	6.5	15	12.7
SEC/SEF-7350	140	34	63.5	106 *2	127			19.2	25	4.5	25	12.7
SEC/SEF-7355	145	49	80.8	124		132	135	20.4	40	12	25	20
SEF-7140	106	32	47	87				27.6	0	9	14	12.7
SEC/SEF-4400(MF)	126	32	76	124	127			19	38.1	6.75	18.5	12.7
SEC/SEF-4500(MF)	132	32	108	156	159			20.2	67.7	3.7	24.6	IN14.6 OUT12
SEC/SEF-4550	150	50	108	156	159	160	163	20.1	67.7	12.7	24.6	IN14.6 OUT12
SEC/SEF-4600	150	80	125			177	179	※1 参照	※1 参照	※1 参照	※1 参照	20
SEC-4400SP/SR	126	32	76	124				19	38.1	6.75	18.5	12.7
SEC-4401(MF)	126	32	76	124				19	38.1	6.75	18.5	12.7
SEC-4501(MF)	132	32	108	156		164		20.2	67.7	3.7	24.6	IN14.6 OUT12
SEC-E440J	112	38	76.2	124	127			19.1	38.1	9.75	18.5	12.7
SEC-E450J	112	38	76.2	124	127			19.1	38.1	9.75	18.5	12.7
SEC-E40(MK3)	126	32	76		127			3.5	69	6.75	18.5	12.75
SEC-E50(MK3)	126	32	76		127			3.5	69	6.75	18.5	12.75
SEC-E60	159	44	95				150.8	3.5	50	8	28	22
SEC-E70	159	44	95				150.8	3.5	50	8	28	22
SEC/SEF-6470 *1	147	40	150					-	45	-	20	35
SEC/SEF-6480 *1	152.5	108	204					-	-	-	-	50
SEC-8340	130.5	48	76	124	127			19	38.1	6.75	18.5	22.7
SEC/SEF-8440	120.5	32	76	124	127			19	38.1	6.75	18.5	12.7
SEC/SEF-8450	127	32	108	156	159			20.2	67.7	3.7	24.6	IN14.6 OUT12
SEC/SEF-8455	150	50	108	156	159	160	163	20.1	67.7	12.7	24.6	IN14.6 OUT12
SEC/SEF-8460	150	80	125	172	172	177	179	31.5	80	15	50	20
SEC/SEF-2410	122	25.5	76	124		131		3.5	69	3.5	18.5	12.7
SEC/SEF-2510	131.5	32	108	156		163		17.2	101.6	9.3	25.4	IN14.6 OUT12
SEC/SEF-2551	137	44	136	184		191		30	80	33.5	-	IN14.6 OUT12
SEC/SEF-310	80	20	60	106	110			20	20	10	-	10
SEC/SEF-320	80	20	60	106	110			20	20	10	-	10
SEC/SEF-400	122	25.5	76	124	127	131	131	3.5	69	3.5	18.5	12.7
SEC/SEF-500	131.5	32	108	156	160	163	163	9	80	3.7	24.6	IN14.6 OUT12
SEC/SEF-550	137	44	136	184	188	191	190	17.2	101.6	9.3	25.4	14.9
SEC/SEF-600 *1	140	67	122	170	173	177	175	※1 参照	※1 参照	※1 参照	※1 参照	20
SEC-400MK2?3	115.5	25.5	76	124	127		131	3.5	69	3.5	18.5	12.7
SEC-500MK2?3	125	32	108	156	160	163	163	9	90	3.7	24.6	IN14.6 OUT12

适用于从微小流量到大流量控制的低成本型号

点胶机|焊台|万用表|集尘机|TRUSCO

切削工具

生产加工用品

工程用品

作业用品

环境安全用品

物流保管用品

研究管理用品

办公住设用品