数字式质量流量控制器
SEC-V100D 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)
以流量设定点作为流量误差的基准，从而实现了高精度流量控制的型号
概要
高精度：±1.0%S.P.(设置点)(30?100% F.S.)
高速响应：搭载了快速启动功能，实现了1秒以内的响应性。
产品阵容中有防止倾斜影响的型号(MF型号)：
搭载了针对热虹吸现象的原理上而采取了相应措施的MF传感器
和模拟MFC的完全互换
小型尺寸：面间距离106mm、适于集成气体面板
技术规格
| 型号 |
SEC- (质量流量控制器) |
V110DM |
V120DM |
| SEF- (质量流量计) |
V110DM |
V120DM |
| 气体接触部材质 |
SUS316L.PTFE.磁性不锈钢 |
| 阀门型号 |
NO:非通电时 开； NC:非通电时 关闭 |
非通电时 关闭 |
标准流量量程
(N2相当F.S.) |
10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM |
20/30/50 SLM |
流量控制范围
(适于SEC系列) |
2?100% F.S. |
流量测量范围
(适于SEF系列) |
0?100% F.S. |
| 响应速度 |
1秒以内(T98) |
| 流量精度*1 |
±1.0% S.P.以内[30?100% F.S.]/±0.3% F.S.以内[2?30% F.S.] |
| 直线性 |
±0.5% F.S.以内 |
| 重复稳定性 |
±0.2% F.S.以内 |
工作差压值*2
(适于SEC系列) |
50?300kPa(d) 10SLM:100?300kPa(d) |
150?300kPa(d) 50SLM:250?300kPa(d) |
| 工作差压值*2 |
300kPa(d) |
| 耐 压 |
1MPa(G) |
| 外部泄漏率 |
5×10-12Pa?m3/s(He)以下 |
| 密封方法 |
金属封口 |
| 使用环境温度 |
5?50℃ |
| 温度影响 Span |
0.08% F.S./℃ |
| 流量设定信号 |
模拟：0.1?5VDC/2?100%(输入阻抗1MΩ以上) 数字式：RS-422A(F-Net 通信协议) |
| 流量输出信号 |
模拟：0?5VDC(最小负荷电阻2MΩ以上) 数字式：RS-422A(F-Net 通信协议) |
| 驱动电源 |
+15VDC ±5% 150mA/-15VDC ±5% 200mA |
+15VDC ±5% 150mA/-15VDC ±5% 250mA |
| 标准接头 |
1/4VCR类型 或者集成气体面板法兰 |
| 标准附加功能 |
快速启动功能*3、自动关闭功能*3、阀门电压功能*3 自动清零功能(SEC-V110DM)*3、零位调整开关 |
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