便携式DO监测仪
SD-300
(制造单位：HORIBA Advanced Techno有限公司)
便携式高灵敏度 使用方便，性能高效
概要
对半导体工业用超纯水中的DO进行高精度测量和监测
由于半导体集成程度不断增加，这就要求提高用于晶片清洗作业中的超纯水水质。超纯水中所含有的微量DO (溶解氧)会氧化晶片表面，因此为保证超纯水的高质量，必须严格控制DO含量。HORIBA的SD-300正是其解决方案。利用HORIBA的半导体技术，其可提供高效的纯水管理。SD-300 DO监测仪轻便且可携带。，适合高精度地测量半导体工业用超纯水中的DO含量。
特点
●便携式设计便于在窄小空间操作
小型、便携式、且使用简单。
●高灵敏度的宽量程检测
检测量程可以从0?20μg/L、0?200μg/L、0?2mg/L、0?20mg/L这4个量程中进行选择。自动/手动量程可以通过开关进行切换。实现了适合量程中的高灵敏度的测量。
●高速响应性
SD-300 DO监测仪具有高速的响应速度(90%在30秒之内)。
●采用平板设计，适合于在洁净室内使用
为了便于操作，采用了平板设计的前面板。
灰尘不会在开关等间隙处积存。
最适合于在洁净室内使用。
●耐用的内部液体交换传感器
传感器是内部液体交换类型易于更换。非常耐用，有利于降低运转成本。
●标准的模拟/串行输出
不仅有模拟输出，还配备了标准的RS-232C输出方式。因此进行现场监测时，用于数据管理的数据可通过RS-232C进行传送 。
■配管连接例
便携式DO监测仪
SD-300
(制造单位：HORIBA Advanced Techno有限公司)
规格
| 测量对象 |
溶解氧 |
| 原理 |
隔膜型极谱法 |
| 测量量程 |
0?20μg/L , 0?200μg/L , 0?2mg/L , 0?20mg/L |
| 响应速度 |
30s/90%(试料水温度在20℃以上) |
| 反复性 |
全刻度的±1% |
| 温度补偿 |
5?50℃ |
| 试样水条件 |
温度 |
2?50℃ |
| 压力 |
0.02?0.2MPa |
| 流量 |
0.2?0.4L/min |
| 外部输出 |
模拟输出 (浓度) |
DC 4?20mA 或 DC 0?16mA 隔离输出 负荷 最大500Ω |
| 接点输出 (警报) |
接点A输出 接点电容 DC24V, 0.1A |
| 串行输出 |
仅RS-232C输出 |
| 校正方法 |
零点 |
电校正或者使用零标准液校正 |
| 跨度 |
空气校正(将传感器放在空气中) |
| 环境条件 |
温度：0?45℃，湿度：85%以下 |
| 电源 |
85至264 V AC , 50/60Hz |
| 功率 |
约50VA (于 100 V AC) |
| 外形尺寸 |
296(W)×110(H)×258(D) mm(仅操作部分) |
| 重量 |
约3.4kg(仅操作部分) |
| 操作部与传感器间的延长线缆长度 |
5m(标准), 10m(可选件) |
外形尺寸图
(单位：mm)
操作部
传感器/流量单元装置
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