在线型溶解臭氧监测仪
OZ-96i
(制造商：HORIBA Advanced Techno,Co.,Ltd. )
概要
监测半导体制造工艺中清洗、形成氧化膜等作业中所使用的臭氧水浓度。它是直接安装在主配管中、可以进行连续监测的臭氧水浓度监测仪。不需要用旁通管路来进行检测。本产品通过臭氧发生装置以及对使用点进行近似测量。
特点
可以安装在线内
可以选择3种配管直径
可以设定任意值的传送输出
可以切换小数点以下位数
零点稳定性
小巧的传感器尺寸
0.5Mpa的耐压性
远程零点校正功能
在接液部材质方面使用PFA/熔凝石英玻璃/PTFE
外形尺寸图
●转换器 OZ-96i
●传感器 CZ-10i/40i/100i/200i/300i
面板截面尺寸
规格
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测量对象 |
纯水中的臭氧浓度 |
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测量原理 |
UV吸收法(254nm) |
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测量范围 |
CZ-10i：0?10mg/L CZ-40i：0?40mg/L CZ-100i：0?100mg/L CZ-200i：0?200mg/L CZ-300i：0?300mg/L |
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再现性 |
全刻度的±2%以内 |
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稳定性 |
零点飘移：全刻度±0.05%/天以内 |
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传送输出 |
DC4?20mA或者0?16mA 隔离输入输出型 最大负荷电阻600Ω |
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传送输出范围 |
测量范围的-10%到+110%之间的任意值 |
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触点输出 |
3ch a接点输出
电容：DC24V、1Amax(电阻负荷)
根据上限/下限/FAIL/UV LOW报警分配功能
报警延迟时间设定：校正/重置选择时0?60秒保持
远程零点校正判定信号：零点校正如果正常，当零点校正指令被输入时接点被关闭。 |
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接点输入 |
接收到零点校正指令后立即开始校正。信号接收时间保持处理 |
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附加功能 |
零点校正、全幅灵敏度校正、全幅检验、信号水平检验功能 |
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周围温度湿度 |
5?40℃ 85%RH或更低 (样品配管如果有冷凝物时请予以清除。) |
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电源 |
DC24V15W |
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转换器构造 |
面板安装固定型：DIN96×96
室内安装型 外盒：SUS304
面板：ABS |
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外形尺寸 |
转换器：96(H)×96(W)×145(D) mm 检测器：80(H)×159(W)×154(D) mm (不包括突起部) |
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质量 |
转换器：约700g
检测器：约2kg |
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样品条件 |
压力：0.5MPa以内
流量：1/2英寸：10L/min 3/4英寸：40L/min 1英寸：100L/min |
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检测器 |
光源结构：低压水银灯
检测器：硅光电池
接液部材质：PFA/熔凝石英/PTFE |
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样品配管 |
标准：PFA3/4英寸 可选件：1/2英寸?1英寸管 |
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空气排空入口 |
Φ6管 流量100mL/min |
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附件 |
专用电缆线：ZK-05 标准5m， 可选件3m、10m、20m |
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消耗品 |
低压水银灯：寿命2年(保修1年) |
监测半导体制造工艺中清洗、形成氧化膜等作业中所使用的臭氧水浓度。它是直接安装在主配管中、可以进行连续监测的臭氧水浓度监测仪。不需要用旁通管路来进行检测。本产品通过臭氧发生装置以及对使用点进行近似测量。
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