BHF浓度计
CS-137
概要
CS-137高精度化学药液浓度计专为半导体制造时清洗制程中所使用的BHF溶液而设计。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化，可用于监测硅氧化膜的蚀刻以及晶片表面的微粒清除作业时所使用的BHF溶液(NH4F/HF/H2O)中的各成分浓度。依据浓度计的输出而进行的反馈控制，可以确保BHF溶液的浓度保持在允许范围内，同时，还可以避免不必要的药液更换工作。
特点
?监测周期大约为3秒，支持300mm工艺的浓度管理。
实现了以大约3秒这样短的测量周期，大幅提高了浓度的实时跟踪性。支持向批次式和单槽式清洗装置定时反馈浓度信息。
?小巧设计有利于清洗装置节省空间
底面面积只有原先的2/3(*)左右，这样的小巧化设计有利于清洗装置节省空间。可以很容易地组装到清洗装置中。
*与本公司产品CS-327比较
?通过减少清洗工艺中的批次不良，提高产量
通过浓度计的信号输出，进行BHF溶液的补给控制，从而实现高再现性的清洗。减少清洗工艺中的批次不良，从而推进产量的全面提高。
?全自动监测与简易控制
用户只需引入BHF溶液即可。监测是全自动方式，因此开始监测后不需要进行任何控制。另外，由于参照光谱测量时使用的是空气，也可以测量水的浓度，从而可以跟踪水因溶液蒸发和附着到晶圆而应起的浓度变化。这样有利于二氧化硅的调整控制。
?通过采取全面的气泡对策，可监测高温样品
在脱泡槽中分离气泡，在监测过程中进一步利用电磁阀把气泡混入监测单元内的发生次数抑制在最低限度。并且，如果是冷却器一体型产品，则可以直接倒入高温度样品至浓度计。温度补偿将自动进行。
?采用DC24V，实现高安全性
电源采用DC24V低压电，提高了安全性以避免触电事故的发生。并且，由于内置漏水传感器，在发生漏水时可以切断BHF溶液的供应等，采取紧急措施。
BHF浓度计
CS-137
技术规格
| 型号 |
CS-137-2503 |
CS-137-1003 |
| 监测对象 |
BHF(氢酸/氟化铵溶液) |
| 测量原理 |
吸收分光谱测定法 |
| 浓度计算的原理 |
温度补偿型多变量解析法 |
| 量程 |
氟化铵：15.0?25.0%
氢氟酸：0.00?3.00%
水：72.0?85.0% |
氟化铵：0.0?10.0%
氢氟酸：0.00?3.00%
水：87.0?100.0% |
| 再现性 |
氟化铵：±0.3%
氢氟酸：±0.25%
水：±1.0% |
氟化铵：±0.3%
氢氟酸：±0.25%
水：±1.0% |
| 药液条件 |
温度 |
20?30℃ |
| 流量 |
20?60mL/min |
| 压力 |
0.10?0.20MPa |
| 检测周期 |
最小约3秒 |
| 设置温度 |
20?30℃ |
| 操作面板 |
1)温度检测值的显示：氟化铵、氢氟酸、水
2)报警信号的显示(氟化铵、氢氟酸)：浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限
3)报警信号值的设定(氟化铵、氢氟酸)：浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限 |
| 串行输入 |
RS-232C
1)浓度数据：氟化铵、氢氟酸、水
2)报警信号值的设定(氟化铵、氢氟酸)：浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限 |
| 并行输入 |
DC12?30V(光耦合器绝缘)
并行浓度报警(有效/无效) |
| 并行输出 |
开路集电极输出为ON时最大电流：5mA；为OFF时的最大电压：30V
1)报警信号的输出(氟化铵、氢氟酸)：浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限
2)装置异常(包括漏液在内)
3)检测中 |
| 模拟输出 |
4?20mA(2输出：NH4F浓度、HF浓度) |
| 电源 |
DC24V±10%， 2A |
| 外形尺寸 |
205(W)×329(D)×269(H)mm |
| 质量 |
约11kg |
| 连接配管尺寸 |
导入用、排出用：外径为6mm(内径为4mm) |
| 配管接头 |
Nippon Pillar Super型 |
有关上述以外的量程，请另行咨询协商。
设置例
外观图
CS-137高精度化学药液浓度计专为半导体制造时清洗制程中所使用的BHF溶液而设计。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化，可用于监测硅氧化膜的蚀刻以及晶片表面的微粒清除作业时所使用的BHF溶液(NH4F/HF/H2O)中的各成分浓度。依据浓度计的输出而进行的反馈控制，可以确保BHF溶液的浓度保持在允许范围内，同时，还可以避免不必要的药液更换工作。
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