SPM监测仪
CS-150
概要
CS-150是半导体制造中清洗工艺的SPM溶液用于高精度药液浓度的监测仪，实现了过去所没有的高速响应性和小巧化。可以实时检测金属离子以及有机物的清除作业中所使用的SPM溶液(H2SO4/H2O2/H2O)各成分浓度，通过报警信号通知自动补给的时间。由于实现了高速响应性和短的检测周期，可以忠实地跟踪浓度变化，并且，由于小巧化设计，可以更容易组装到清洗装置中。
特点
?以大约3秒的检测周期支持300mm工艺的浓度管理。
实现了约3秒这样短的检测周期。大幅提高了浓度的实时跟踪性。支持多径方式和单径方式清洗装置详细的浓度管理。
?小巧设计有利于清洗装置节省空间
底面面积只有原先的2/3(*)左右，这样的小巧化设计有利于清洗装置节省空间。可以很容易地组装到清洗装置中。
*与本公司产品CS-340比较
?通过减少清洗工艺中的批次不良，提高了原材料利用率
通过使用监测输出，进行SPM溶液的补给控制，从而实现高重现性的清洗。减少清洗工艺中的批次不良，从而有利于提高原材料利用率。
?通过全自动检测，实现了简易管理
用户只需要引入SPM溶液即可。由于检测是全自动方式，所以开始检测后不需要进行任何控制。并且，参照光谱检测由于使用空气，所以不需要利用水。
?通过采取万无一失的气泡对策，可以进行连续检测
由于内置有脱泡功能，在快到检测池时分离气泡，从而可以在液体流动的状态下连续检测。
?采用DC24V，实现了高安全性
电源采用了低电压DC24V，只有大约45W，相对于触电事故的安全性和节电效果提到了进一步提高。并且，由于内置漏水传感器，在发生漏水时可以切断SPM溶液的供应等，采取紧急措施。
SPM监测仪
CS-150
技术规格
| 型号: |
CS-150 |
CS-150C |
| 型号和技术规格: |
没有冷却器 |
冷却器一体型 |
| 检测对象: |
SPM(硫酸/过氧化氢水溶液) |
| 检测原理: |
吸收分光法 |
| 浓度计算的原理: |
温度补偿型多变量解析法 |
检测范围
(质量%): |
硫酸：50.0?90.0%
过氧化氢：0.00?10.00%
水：0.0?50.0% |
重现精度
(室温变化±1℃以内)
(质量%): |
硫酸：±0.5%
过氧化氢：±0.50%
水：±1.5% |
| 药液条件 |
温度 |
20?30℃ |
20?60℃ |
| 流量 |
20?60mL/min |
20?40mL/min |
| 压力 |
0.10?0.20MPa |
| 检测周期: |
最小约3秒 |
| 设置温度: |
20?25℃ |
| 操作面板: |
1)温度检测值的显示：硫酸、过氧化氢、水
2)报警信号的显示(硫酸、过氧化氢)：浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限
3)报警信号值的设定(硫酸、过氧化氢)：浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限 |
| 串行输入: |
RS- 232C
1)浓度数据：硫酸、过氧化氢、水
2)报警信号值的设定(硫酸、过氧化氢)：浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限 |
| 并行输入: |
DC12?30V(光耦合器绝缘)
并行浓度警报(有效/无效) |
| 并行输出: |
开路集电极输出ON时最大电流：5mA；OFF时最大电压：30V
1)报警信号输出(硫酸、过氧化氢)：浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限
2)装置异常(包括漏液在内)、3 )检测中 |
| 模拟输出: |
4?20mA (硫酸：50.0?100.0%/过氧化氢：0.00?10.00%)
*关于电流输出的量程技术规格，可以根据客户要求的技术规格来设定。(请在订购时指定) |
| 电源: |
DC24V±10% 2A |
| 外形尺寸: |
205(W)×329(D)×269(H) |
291(W)×329(D)×269(H) |
| 质量: |
约11kg |
约12kg |
| 连接配管尺寸: |
引入用、排出用外径均为6mm(内径均为4mm) |
| 配管接头: |
日本柱状超级类型 |
有关上述以外的检测范围，请另行咨询协商。
设置例
外观图
CS-150是半导体制造中清洗工艺的SPM溶液用于高精度药液浓度的监测仪，实现了过去所没有的高速响应性和小巧化。可以实时检测金属离子以及有机物的清除作业中所使用的SPM溶液(H2SO4/H2O2/H2O)各成分浓度，通过报警信号通知自动补给的时间。由于实现了高速响应性和短的检测周期，可以忠实地跟踪浓度变化，并且，由于小巧化设计，可以更容易组装到清洗装置中。
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